Projekt "Automatisierung für Mikro- und Nanotechnologie"
| Wesentliche Erfolgsfaktoren für die Systemintegration in der Mikro- und Nanotechnologie sind rechnergestützte Methoden sowohl für den Entwurf des Mikro-/Nanosystems als auch für die Planung der Herstellungsprozesskette. Zentrale Module zur Automatisierung der Fertigungsprozesse sind die Modellierung, Simulation und Optimierung, die optische Mess- und Prüftechnik sowie die Mikromontage | |||||||||
Konkrete Anwendungen / Anwendungsfelder | |||||||||
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