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Science and Technology of Nanosystems (STN)



Ziel der FuE-Arbeiten des Instituts im Programm NanoMikro ist die Entwicklung von rechnergestützten Verfahren und Werkzeugen für die systemtechnische Umsetzung der Mikro- und Nanotechnologie in Produkte.
Dabei wird die komplette Kette vom Entwurf von Mikrosystemen über die Fertigung, Vermessung und Inspektion von Nano- und Mikrosystemen abgedeckt.
Im Einzelnen untergliedern sich die Arbeiten in

  • Wissensbasierter Entwurf und Modellierung von Mikro-Nanosystemen
  • Repräsentation von Mikrosystem /Nano-Fertigungswissen
  • Automatisierungslösungen für Einzelteilfertigungs- und Montageprozesse
  • Inspektions- und Messsysteme
  • Systemintegration am Beispiel eines Augenimplantats (Künstliches Akkommodationssystem“)


Die Arbeiten reichen von der Methoden- und Verfahrensentwicklung bis hin Prototypsoftwareimplementierungen bzw. zur Realisierung von Hardware-Labormustern. Sie werden in nationale und internationale Forschungsprojekte, in Industrieprojekte sowie in Industrie- und Standdardisierungsarbeitskreise eingebracht.


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